微弱なマイクロ波を電力に変換する高感度ダイオードを開発

　富士通株式会社と首都大学東京は，JST戦略的創造研究推進事業において，微弱なマイクロ波を電力に変換できる高感度のナノワイヤバックワードダイオード整流素子を開発した．

　IoTセンサネットワークのバッテリーレス化実現に向けたエネルギーハーベスティング技術の一つとして，携帯電話通信基地局などから放射され，空間に遍在する微弱なマイクロ波を電力として再利用する環境電波発電が注目されている．電波発電は，電波を集めるアンテナと，その電波を整流するダイオードから成るレクテナによって行われる．ダイオードのマイクロ波に対する感度は，整流特性の急しゅん性とダイオードのサイズ（容量）に大きく依存する．一般的にレクテナには，ショットキーバリヤダイオード（SBD）が使われる．しかし，微小電圧における整流特性が緩慢で，かつ素子サイズが数µm以上あり容量が大きいため，µWレベル以下の微弱なマイクロ波への感度が十分ではなく，環境電波を電力へ変換することが困難であったことから，ダイオードの高感度化が求められていた．