グラフェンを利用した新原理ガスセンサを開発

――1ppb以下の二酸化窒素を検出――

　(株)富士通研究所は，原子一層分の厚みの炭素材料であるグラフェンを利用した，新原理ガスセンサの開発に成功した．開発したセンサは，シリコントランジスタのゲート部分をグラフェンで置き換えた構造（図1）を持つ．本センサは，数十ppb（parts per billion，10億分の1）以下の濃度の二酸化窒素（NO₂）やアンモニア（NH₃）を検出可能であり，特にNO₂については，従来形センサの10倍以上となる1ppb以下の感度を持つ．本技術により，大気環境をリアルタイムに観測する装置や，生活習慣病の早期発見のための呼気中ガス成分を手軽に分析する装置などの実現が期待される．

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