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3. 光周波数コムの応用
3-2
【測距系】
電気光学光コム発生器による三次元計測装置
3-dimensional Measurement Systems Using Electro-optic Comb Generators
電気光学変調器をベースとした光コム発生器は光コムの創成期に登場した．ファブリペロー電気光学変調器を光周波数計測に応用したのである．この光コム発生器をより簡便に使用できるよう，導波路化・モジュール化され実用化に成功した．この基本技術を基に，2台の光コム発生器を用いた光コム干渉を用いることによって距離計が開発された．そして三次元計測装置が開発された．
本稿では電気光学光コム発生器の開発の概要と，電気光学光コム発生器を用いた三次元計測の原理，及び計測例について解説する．
キーワード：光コム発生器，ファブリペロー電気光学変調器，三次元計測，光コム干渉
光コムは光の周波数を計測するために開発されてきた(1)～(3)．光コムは精密な光周波数シンセサイザとして機能し，位相及び周波数情報を高安定基準から光学領域に正確に転送する．位相及び周波数情報とは，時間，距離情報とも言える．精密に制御された光コムをターゲットに照射して反射した光が経験した様々な物理量を計測できる．その一つが距離計測器であり，次元を拡張したのが三次元計測装置である．
反射した光コムを光検出器（PD）で直接パルスとして距離を検出しようとすると，PDの帯域で時間分解能が制限される．そのような制限を回避する方法として2台の光コムを用いた干渉を用いる方法が開発された(4)～(6)．
ここでは，電気光学変調に基づく光コム発生器（OFCG: Optical Frequency Comb Generator）の概要とOFCGを用いた光コム干渉による三次元計測装置について解説する．
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