小特集 電子スピンの回路とシステムへの応用
4. 電子顕微鏡のスピントロニクス応用
――磁界計測――
Applications of Electron Microscopes for Spintronics:Magnetic Field Measurements
p.1421
谷垣俊明
電子の波で見る微細な磁界分布
電子顕微鏡によるナノスケール観察はデバイス開発及び製造管理において有用な解析手法の一つである．環境負荷軽減への貢献が期待されるスピントロニクスデバイスの開発においては，電子顕微鏡による電磁界計測技術が有用な解析手法となると期待される．本稿では，低消費電力デバイスへの応用が期待されるスキルミオンの磁界観察，三次元磁界観察，及びサブナノスケール磁界観察への電子線ホログラフィーの応用事例を紹介する．