pp913
奥山雅則
物理空間と仮想空間を結ぶIoT社会の鍵
センサは外界の種々の情報を捉える素子で，温度，磁気，光，圧力，加速度等の物理量，そしてガス，イオン，バイオ物質等の化学量を電気や光等の伝達・処理しやすい信号に変換する．センサは，新物質の発見，MEMS三次元構造の作製技術の進歩，集積回路素子との一体化技術の改良，信号処理技術の進化とともに小形化，高機能化，多様化，多次元化，低価格化が図られ，発展してきた．これらの技術的発展と現状について，代表的なセンサを分類して紹介する．
物理空間と仮想空間を結ぶIoT社会の鍵
センサは外界の種々の情報を捉える素子で，温度，磁気，光，圧力，加速度等の物理量，そしてガス，イオン，バイオ物質等の化学量を電気や光等の伝達・処理しやすい信号に変換する．センサは，新物質の発見，MEMS三次元構造の作製技術の進歩，集積回路素子との一体化技術の改良，信号処理技術の進化とともに小形化，高機能化，多様化，多次元化，低価格化が図られ，発展してきた．これらの技術的発展と現状について，代表的なセンサを分類して紹介する．